Сусцептор із покриттям TaC

Токоприймач із покриттям Semicorex TaC, виготовлений із графітового основного матеріалу, покритий карбідом танталу (TaC) для підвищення його продуктивності та довговічності.

Карбід танталу забезпечує виняткову термічну стабільність, завдяки чому чутливий елемент із покриттям TaC витримує надзвичайно високі температури, які часто зустрічаються в таких процесах, як хімічне осадження з парової фази (CVD) і фізичне осадження з парової фази (PVD). А покриття TaC забезпечує чудову стійкість до хімічних реакцій, окислення та корозії, що має вирішальне значення для збереження цілісності та продуктивності в агресивних хімічних середовищах.

Однорідні та стабільні термічні властивості TaC Coated Susceptor покращують послідовність і якість процесів, у яких вони використовуються, що призводить до кращого виходу та ефективності у виробництві напівпровідників.

У той же час використання TaC у TaC Coated Susceptor мінімізує ризик забруднення в напівпровідникових процесах, що є критичним для виробництва високочистих і бездефектних електронних компонентів.

Застосування TaC Coated Susceptor:

Виробництво напівпровідників: використовується в процесах CVD і PVD для нанесення тонких плівок і епітаксійних шарів на напівпровідникові пластини.

Виробництво світлодіодів: використовується у виробництві світлодіодів (світлодіодів), де потрібні точні та стабільні температурні умови.

Виготовлення сонячних елементів: використовується у виробництві фотоелектричних елементів для підвищення ефективності та надійності.

Semicorex TaC Coated Susceptor має вирішальне значення в передових виробничих процесах, де потрібна висока термостабільність, хімічна стійкість і довговічність. Їх застосування забезпечує підвищення продуктивності, довговічності та якості продукції у високотехнологічних галузях.