Трубка з покриттям TaC

Потужність Semicorex TaC Coated Tube полягає в синергічній комбінації основного матеріалу та спеціального покриття:

Основа з ізотропного графіту високої чистоти:Серцевина труби з покриттям TaC складається з ізотропного графіту надвисокої чистоти, відомого своєю чудовою теплопровідністю, низьким тепловим розширенням і властивою стійкістю до теплового удару. Ця основа забезпечує міцну та стабільну платформу, здатну протистояти швидким коливанням температури та високим тепловим навантаженням, характерним для обробки напівпровідників.

Карбід танталу---Щит міцності та інертності:Покриття TaC, нанесене методом CVD, перетворює графітову підкладку, надаючи їй виняткову твердість, зносостійкість і хімічну інертність. Цей захисний шар діє як бар’єр проти агресивних газів, плазми та реактивних речовин, які виникають під час виготовлення напівпровідників, забезпечуючи структурну цілісність і довговічність трубки.

Ця унікальна комбінація матеріалів перетворюється на ряд переваг, які є критично важливими для вдосконаленого виробництва напівпровідників:

Неперевершена термостійкість:TaC має одну з найвищих температур плавлення з усіх відомих матеріалів, перевершуючи навіть карбід кремнію (SiC). Ця надзвичайна термостійкість дозволяє трубці з покриттям TaC надійно працювати в процесах, що вимагають температур понад 2500 °C, що дозволяє виготовляти напівпровідникові пристрої наступного покоління з вимогливим тепловим бюджетом.

Надвисока чистота для критичного контролю процесів:Підтримка незайманих технологічних середовищ має першорядне значення у виробництві напівпровідників. Використання графіту високої чистоти та ретельний процес нанесення покриття CVD забезпечують мінімальне виділення газів або утворення твердих часток із трубки з покриттям TaC, запобігаючи забрудненню, яке може поставити під загрозу чутливі поверхні пластин і роботу пристрою.

Непохитна хімічна стійкість:Хімічна інертність трубки з покриттям TaC забезпечує виняткову стійкість до широкого діапазону корозійних газів, реактивних іонів і плазмових середовищ, які зазвичай використовуються в напівпровідникових процесах, таких як травлення, осадження та відпал. Ця надійна хімічна стабільність забезпечує подовження терміну служби трубок, зниження вимог до обслуговування та зниження загальної вартості володіння.

Покращена механічна міцність для подовженого терміну служби:Сильне зчеплення між покриттям TaC і графітовою підкладкою в поєднанні з властивою трубці з покриттям TaC твердістю забезпечує виняткову стійкість до зношування, ерозії та механічних навантажень. Ця підвищена довговічність означає довший термін служби та скорочення часу простою для заміни, покращуючи ефективність процесу та продуктивність.