Вафельний рецептор із покриттям TaC

Вафельний токоприймач із покриттям Semicorex TaC є ключовим компонентом, який використовується в печах металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD) для епітаксійної обробки напівпровідників (epi). Цей спеціалізований круглий чутливий елемент виготовлено з високоякісного графітового матеріалу та має унікальне покриття з карбіду танталу (TaC).

Основна мета покриття TaC полягає в тому, щоб підвищити продуктивність і довговічність пластинчастого фіксатора з покриттям TaC під час складних умов процесів виготовлення напівпровідників. Карбід танталу відомий своєю винятковою твердістю, високою температурою плавлення та стійкістю до зношування та корозії. Завдяки цим властивостям TaC Coated Wafer Susceptor є ідеальним вибором для захисту розташованого нижче графіту від хімічних реакцій і фізичних навантажень, які виникають у печі MOCVD.

Пластинчастий токоприймач із покриттям TaC відіграє важливу роль в епітаксіальному зростанні напівпровідникових матеріалів, полегшуючи осадження тонких плівок на пластини. Його здатність витримувати високі температури та агресивні хімічні середовища має вирішальне значення для досягнення точного та надійного виробництва напівпровідникових пристроїв.

Вафельний фіксатор із покриттям TaC із графітовим сердечником і покриттям з карбіду танталу забезпечує постійний і рівномірний розподіл тепла, сприяючи відтворюваності та якості напівпровідникових шарів, вирощених під час процесу MOCVD. Ця вдосконалена комбінація матеріалів робить його надійним і довговічним рішенням для виробництва напівпровідників, яке відповідає суворим вимогам виробництва сучасних електронних пристроїв.