Вафельний патрон з покриттям TaC

Вафельний патрон Semicorex TaC Coating Chuck виготовляється з покриттям з карбіду танталу (TaC), нанесеним на графітову підкладку. Ретельний відбір матеріалів і ретельне проектування підкреслюють важливість цього продукту в галузі.

Основна перевага використання покриття TaC на графіті полягає у властивостях теплового розширення цих матеріалів. Коефіцієнт теплового розширення (КТР) вимірює, наскільки матеріал розширюється при нагріванні. У виробництві напівпровідників дуже важливо, щоб КТР покриття точно відповідав КТР підкладки. Значна невідповідність може призвести до стресів і остаточного руйнування покриття. Вибираючи графітовий матеріал, КТР якого дуже близький до TaC, ми забезпечуємо міцне зчеплення покриття TaC з графітовою підкладкою. Ця сумісність зменшує ризик розшарування та продовжує термін служби пластинчастого патрона з покриттям TaC.

Покриття TaC підвищує твердість і зносостійкість пластинчастого патрона з покриттям TaC, що має вирішальне значення для підтримки точної та стабільної роботи під час повторюваних циклів процесу епітаксії. Висока температура плавлення TaC гарантує, що TaC Coating Wafer Chuck може витримувати екстремальні температури, які виникають під час виготовлення напівпровідників, без погіршення якості. Крім того, хімічна інертність TaC захищає графіт, що лежить під ним, від корозійних газів та інших реактивних речовин, які використовуються в процесі епітаксії.

На практиці ці властивості матеріалу призводять до значного покращення продуктивності. Підвищена довговічність і стабільність пластинчастого патрона з покриттям TaC вимагає менше замін, що зменшує час простою та витрати на технічне обслуговування. Висока термічна стабільність забезпечує постійну продуктивність навіть у найскладніших умовах, сприяючи вищим показникам продуктивності у виробництві напівпровідників.

Патрон Semicorex TaC Coating Wafer Chuck демонструє передові технології розробки матеріалів і продуманий дизайн. Поєднавши властивості карбіду танталу та графіту, ми розробили продукт, який відповідає суворим вимогам процесів епітаксії напівпровідників. Його чудова довговічність, термічна стабільність і хімічна стійкість роблять його незамінним компонентом у промисловості виробництва напівпровідників. Цей інноваційний підхід не тільки підвищує продуктивність і надійність, але також сприяє більш стійким і економічно ефективним виробничим операціям. Оскільки напівпровідникова промисловість продовжує розвиватися, пластинчастий патрон із покриттям TaC готовий долати виклики технологій нового покоління.