Напрямні кільця з покриттям з карбіду танталу

Направляючі кільця зазвичай встановлюються над графітовим тиглем у системі теплового поля. Вони працюють у поєднанні з тиглем, нагрівачем, теплоізоляційним циліндром та іншими напівпровідниковими компонентами, щоб спрямовувати та контролювати розподіл тепла та технологічних газів.

АперевагиТпокриття з карбіду анталуму

Відомий чудовою продуктивністюПокриття TaCУ застосуваннях для вирощування монокристалів напівпровідників третього покоління покриття з карбіду танталу має такі переваги:

1. Виняткова термічна стабільність

Карбід танталу має чудову термостійкість із надвисокою температурою плавлення 3880 ℃. Завдяки цій винятковій термічній стабільності напрямні кільця Semicorex з покриттям з карбіду танталу можна стабільно використовувати в середовищах з високою температурою нижче 2500 ℃. Крім того, поєднання цих двох матеріалів мінімізує ризики розтріскування та відшарування покриття, спричинені змінами температури, що значно забезпечує структурну цілісність компонента під час повторних процесів нагрівання та охолодження.

2. Чудова стійкість до корозії

Карбід танталу має чудову стійкість до корозії та окислення, а також хімічно інертний до більшості реактивних газів, таких як аміак, водень і кремній. Завдяки такій хімічній стабільності напрямні кільця з покриттям з карбіду танталу Semicorex ефективно запобігають ерозії матриці реактивними газами та пошкодженню її структурної цілісності, а також уникають ризику забруднення реагентами та домішками, що потрапляють у кристалічну структуру.

Ефективність направляючих кілець Semicorex з покриттям з карбіду танталу

Напівкорекснапрямні кільця з покриттям з карбіду танталувикористовуйте високочистий графіт як матрицю та нанесіть покриття TaC на поверхню за допомогою технології CVD. Поєднання цих двох матеріалів дозволяє напрямним кільцям Semicorex, покритим карбідом танталу, мати такі переваги:

1. Керування потоком газу та оптимізація поля потоку

Під час росту кристалів використання напрямних кілець допомагає оптимізувати розподіл потоку в тепловому полі та спрямовує реактивні гази в контрольованому напрямку потоку та рівномірному розподілі. Завдяки своїй особливій структурній конструкції напрямні кільця з покриттям з карбіду танталу Semicorex можуть направляти газ для потоку та рівномірного розподілу, що ефективно дозволяє уникнути надмірно високих або низьких локальних концентрацій газу.

2. Регулювання температури та оптимізація теплового поля

Напрямні кільця з карбідом танталу Semicorex демонструють чудову теплопровідність, відіграючи вирішальну роль у допомозі регулювати розподіл температури та створюючи стабільне температурне поле для росту кристалів. Наприклад, напрямні кільця Semicorex, покриті карбідом танталу, можуть допомогти підтримувати температурний градієнт у PVT зростанні кристалів карбіду кремнію, забезпечуючи розкладання, транспортування та кристалізацію матеріалів у відповідних умовах.