Вафельний завантажувач

Вафельний завантажувач виготовлено з високочистих керамічних матеріалів із оксиду алюмінію, що забезпечує винятковий рівень чистоти, який має вирішальне значення для виробництва напівпровідників. Висока чистота кераміки мінімізує ризик забруднення, що життєво важливо для збереження цілісності пластин під час роботи. Ця чудова чистота є важливою в середовищах, де навіть найменші домішки можуть мати значний негативний вплив на якість кінцевого продукту.

Однією з видатних особливостей Wafer Loader Arm від Semicorex є його точне виготовлення, що забезпечує допуски до ±0,001 мм. Цей рівень точності розмірів гарантує, що рукоятка може працювати з пластинами з винятковою точністю, зменшуючи ризик неправильного поводження або зміщення під час критичних етапів обробки. Точні розміри також забезпечують сумісність із наявним обладнанням, полегшуючи бездоганну інтеграцію в поточні виробничі установки.

Глиноземна кераміка, яка використовується в Wafer Loader Arm, демонструє чудову стійкість до високих температур, витримуючи температуру до 1600°C. Ця властивість є важливою для застосувань у високотемпературних середовищах, гарантуючи збереження форми та структурної цілісності під час термічного навантаження. Зменшений прогин при підвищених температурах підвищує надійність і точність обробки пластин навіть у найвимогливіших температурних умовах.

У напівпровідникових процесах, таких як очищення та травлення, Wafer Loader Arm демонструє виняткову стійкість до корозії проти різних хімічних рідин. Глиноземний керамічний матеріал залишається стабільним і зберігає свої експлуатаційні характеристики при впливі агресивних хімічних середовищ. Така стійкість до корозії подовжує термін експлуатації важеля, зменшуючи потребу в частій заміні та обслуговуванні, тим самим підвищуючи загальну ефективність.

Якість поверхні Wafer Loader Arm ретельно контролюється, досягаючи середнього значення шорсткості (Ra) 0,1 і не містить металевих забруднень і часток. Ця висока якість поверхні гарантує делікатне поводження з пластинами, запобігаючи подряпинам, забрудненням та іншим поверхневим дефектам, які можуть поставити під загрозу функціональність пластини. Підтримка чистоти поверхні має вирішальне значення для процесів, які вимагають максимальної точності та чистоти.

Глиноземний керамічний матеріал забезпечує зносостійкість, яка значно перевищує стійкість традиційних матеріалів, таких як сталь і хромована сталь. Ця виняткова стійкість до зношування гарантує, що Wafer Loader Arm може витримати тривале використання без суттєвої деградації, зберігаючи свою точність і ефективність з часом. Зменшення зносу також сприяє зниженню експлуатаційних витрат за рахунок мінімізації необхідності частої заміни деталей.

Незважаючи на свою міцність, Wafer Loader Arm легка, що ефективно знижує навантаження на обладнання. Це зменшення ваги не тільки покращує загальну ефективність системи обробки пластин, але й продовжує термін служби відповідного обладнання. Менша вага сприяє більш плавним і швидким рухам, підвищуючи продуктивність і надійність процесу обробки пластин.