Токоприймач реактора з карбідним покриттям Semicorex — це високоякісний графітовий виріб, покритий SiC високої чистоти, розроблений спеціально для процесів LPE. Завдяки чудовій термостійкості та стійкості до корозії цей продукт ідеально підходить для використання у виробництві напівпровідників.
Якщо вам потрібен високоефективний графітовий токоприймач для формування епітаксійного шару на напівпровідникових пластинах, то це відмінний вибір для Reactor Barrel Susceptor Semicorex Carbide Coated Reactor Barrel Susceptor. Його покриття з карбіду кремнію забезпечує чудовий розподіл тепла та теплопровідність, забезпечуючи виняткову продуктивність навіть у найвимогливіших високотемпературних середовищах.
У Semicorex ми зосереджуємося на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних токоприймачів стовбура реактора з твердосплавним покриттям, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.
Параметри токоприймача стовбура реактора з карбідним покриттям
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
μm |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 °) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики токоприймача стовбура реактора з карбідним покриттям
- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- Як графітова підкладка, так і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.