Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником стовбурових фіксаторів із покриттям SiC у Китаї. Ми зосереджені на напівпровідникових галузях, таких як шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.
НапівкорексТокоприймач бочки з SiC покриттямце графітовий носій високої чистоти з покриттям SiC, який використовується в процесі для нарощування епітаксійного шару на чіпі пластини, який підходить для багатьох епітаксійних реакторів. Він має високу термостійкість і стійкість до корозії, що має велику стабільність в екстремальних умовах.
нашSiC покриттямBarrel Susceptor також стійкий до високотемпературного окислення та корозії, що робить його надійним і довговічним продуктом. Його висока температура плавлення гарантує, що він може витримувати високу температуру середовища, необхідну для ефективного виробництва напівпровідників.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про насSiC покриттямСтовбурна коробка
ПараметриSiC покриттямСтвольна коробка
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
ОсобливостіSiC покриттямСтвольна коробка
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок