Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor — це високоякісний графітовий продукт, покритий SiC високої чистоти, що забезпечує виняткову стійкість до тепла та корозії. Він спеціально розроблений для застосувань LPE у промисловості виробництва напівпровідників.
нашТокоприймач стовбура з покриттям з карбіду кремніювід Semicorex є ідеальним рішенням для вирощування монокристалів у високотемпературних і корозійних середовищах.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високої якості та економічностіпокритий карбідом кремніюBarrel Suceptor, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.
ПараметриПокриття з карбіду кремніюСтвольна коробка
Основні технічні характеристикиПокриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
ОсобливостіПокриття з карбіду кремніюСтвольна коробка
- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність зв’язку, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.