Керамічні кільця фокусування для напівпровідників

Кераміка Semicorexкільце фокусуванняs for semiconductor є ідеальними рішеннями, розробленими для суворих умов експлуатації плазмового травлення. Під час складного процесу травлення напівпровідника вкрай важливо точно контролювати розподіл плазми, що може забезпечити стабільність камери травлення та постійну однорідність травлення напівпровідника. Як незамінні компоненти, що використовуються в сучасному обладнанні для травлення, кільця фокусування зазвичай розташовуються навколо напівпровідникових пластин і безпосередньо контактують з ними. Продуктивність фокусних кілець безпосередньо впливає на повторюваність процесу, вихід продукції та час безвідмовної роботи обладнання.

Переваги керамічних фокусних кілець Semicorex для напівпровідника

1.Надвисока чистота матеріалу

Чистота нашаCVD SiCматеріалу перевищує 99,9995%. Це може ефективно запобігти забрудненню камери травлення та напівпровідникових пластин через недостатню чистоту матеріалу.

2. Виняткова стійкість до корозії

Керамічні фокусні кільця Semicorex для напівпровідників виготовлені з CVD SiC, що має відмінну стійкість до окислення, ерозії та хімічної корозії, особливо ефективні проти технологічних газів, таких як HF і HCI, а також плазмового газу.

3. Чудова стійкість

Однорідність опору керамічних фокусних кілець Semicorex для напівпровідника менше 5%.

Діапазони питомого опору: низька роздільна здатність. (<0,02 Ω·см), середня рез. (0,2–25 Ом·см), висока роздільна здатність (>100 Ом·см).

Функції керамічних фокусних кілець Semicorex для напівпровідника

1. Контроль та уніфікація крайового електричного поля та розподілу плазми

Керамічні фокусні кільця Semicorex для напівпровідників можуть контролювати розподіл електричного поля всередині камери травлення та досягати більш рівномірної плазмової оболонки навколо напівпровідникових пластин, дозволяючи плазмі стикатися з поверхнею пластини вертикально та рівномірно. Таким чином можна значно зменшити ефект травлення країв і значно підвищити точність травлення.

2. Захистіть електростатичний патрон

Без захисту кілець фокусування в процесі травлення електростатичний патрон буде піддаватися бомбардуванню та ерозії високоенергетичної плазми. Електростатичні патрони виготовляються з дорогих матеріалів з надзвичайно високою вартістю заміни. Використання фокусних кілець може ефективно зменшити плазмову корозію електростатичного патрона та мінімізувати витрати на обслуговування та заміну електростатичного патрона.