Душова лійка CVD з SiC покриттям

Виготовлена ​​з графіту високої чистоти та покрита тонким шаром SiC за допомогою методу CVD, душова лійка CVD з покриттям SiC поєднує переваги як графіту, так і SiC. Ця синергія призводить до створення компонента, який не тільки забезпечує послідовний і точний розподіл газів, але також може похвалитися чудовою стійкістю до термічних і хімічних умов, які часто зустрічаються в середовищах осадження.

Ключ до функціональності душової лійки CVD з SiC Coat полягає в її здатності до рівномірного розподілу газів-попередників по поверхні підкладки. Це завдання досягається завдяки її стратегічному розміщенню над підкладкою та ретельному дизайну невеликих отворів або сопел, що перетинають її поверхню. Цей рівномірний розподіл є ключовим для досягнення стабільних результатів осадження.

Вибір SiC як матеріалу покриття для душової лійки CVD з SiC Coat не є випадковим, а обумовлений його чудовою теплопровідністю та хімічною стабільністю. Ці властивості мають важливе значення для пом’якшення накопичення тепла під час процесу осадження та підтримки рівномірної температури на підкладці, а також для забезпечення надійного захисту від корозійних газів і суворих умов, характерних для процесів CVD.

Створена для задоволення конкретних вимог різноманітних систем CVD і вимог до процесу, конструкція душової лійки CVD з SiC Coat охоплює форму пластини або диска, оснащену ретельно розрахованим набором отворів або прорізів. Душова лійка CVD із дизайном SiC Coat забезпечує не тільки рівномірний розподіл газу, але й оптимальну швидкість потоку, необхідну для процесу осадження, підкреслюючи роль компонента як стрижня в прагненні до точності та рівномірності процесів осадження матеріалу.