Душова насадка CVD-SiC

Душова насадка Semicorex CVD-SiC забезпечує довговічність, чудове управління температурою та стійкість до хімічного розкладання, що робить її підходящим вибором для вимогливих процесів CVD у напівпровідниковій промисловості. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

У контексті душової насадки CVD душова насадка CVD-SiC зазвичай розроблена для рівномірного розподілу газів-попередників по поверхні підкладки під час процесу CVD. Душова насадка зазвичай розташовується над підкладкою, і гази-попередники протікають через маленькі отвори або сопла на її поверхні.

Матеріал CVD-SiC, який використовується в душовій лійці, має кілька переваг. Його висока теплопровідність допомагає розсіювати тепло, що утворюється під час процесу CVD, забезпечуючи рівномірний розподіл температури по підкладці. Крім того, хімічна стабільність SiC дозволяє йому протистояти корозійним газам і жорстким середовищам, які зазвичай зустрічаються в процесах CVD.

Конструкція душової лійки CVD-SiC може змінюватися залежно від конкретної системи CVD і вимог процесу. Однак зазвичай він складається з пластинчастого або дископодібного компонента з масивом точно просвердлених отворів або пазів. Схема отворів і геометрія ретельно розроблені для забезпечення рівномірного розподілу газу та швидкості потоку по поверхні підкладки.