Лійка для душу SiC

Душова головка Semicorex SiC є важливим компонентом у процесі епітаксійного росту, спеціально розробленим для підвищення рівномірності та ефективності нанесення тонкої плівки на напівпровідникові пластини. Душова лійка SiC виготовлена ​​з карбіду кремнію (SiC). Ця душова насадка SiC, відома своєю винятковою теплопровідністю, механічною міцністю та хімічною стійкістю, забезпечує оптимальну продуктивність у високотемпературних і корозійних середовищах, характерних для епітаксіальних реакторів.

Форма душової лійки SiC Shower Head ретельно розроблена для полегшення рівномірного розподілу вихідних газів по поверхні пластини. Його масив прецизійних отворів забезпечує контрольований і послідовний потік, що є вирішальним для досягнення високоякісних епітаксійних шарів з однаковою товщиною та складом. Ця конструкція мінімізує реакції в газовій фазі та утворення частинок, сприяючи чудовому виходу пластин і продуктивності пристрою.

Душова лійка SiC, яка ідеально підходить як для досліджень, так і для великого виробництва, виділяється своєю довговічністю та надійністю, значно скорочуючи час простою на технічне обслуговування та експлуатаційні витрати. Його сумісність з різними епітаксіальними процесами, включаючи хімічне осадження з парової фази (CVD), робить його універсальним і безцінним активом у промисловості виробництва напівпровідників.