SiC Epi-Wafer Susceptor

Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Ми зосереджені на напівпровідникових галузях, таких як шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники. Наш SiC Epi-Wafer Susceptor має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex постачає SiC Epi-Wafer Susceptor з покриттям MOCVD, який використовується для підтримки пластин. Їх високочиста графітова конструкція з покриттям з карбіду кремнію (SiC) забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини епі-шару та міцності, а також довговічну хімічну стійкість. Тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту, гладку поверхню, що є критично важливим для роботи, оскільки незаймані пластини контактують із сенсором у багатьох точках по всій площі.
Наш SiC Epi-Wafer Susceptor розроблений для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш SiC Epi-Wafer Susceptor.

Параметри SiC Epi-Wafer Susceptor

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості SiC Epi-Wafer Susceptor

Високочистий графіт із покриттям SiC
Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
Висока стійкість до хімічного очищення
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.