Підкладка GaN-on-SiC

Носії для пластин GaN-on-SiC, які використовуються на етапах осадження тонких плівок або обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає високочистий чутливий елемент із покриттям GaN-on-SiC із покриттям SiC, який забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару, а також тривалу хімічну стійкість. Тонке кристалічне покриття SiC забезпечує чисту, гладку поверхню, що має важливе значення для роботи, оскільки незаймані пластини контактують із сенсором у багатьох точках по всій площі.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш GaN-on-SiC підкладка-суцептор має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри підкладки GaN-on-SiC

Особливості підкладки GaN-on-SiC

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність зв’язку, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.