Монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор

Ідеально підходить для графітової епітаксії та обробки пластин, надчистий монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор Semicorex забезпечує мінімальне забруднення та надзвичайно тривалий термін служби. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor — це графітовий продукт, покритий високоочищеним SiC, який має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій із покриттям із карбіду кремнію CVD, який використовується в процесах формування епітаксійного шару на напівпровідникових пластинах, який має високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла.
Наш монокристалічний кремнієвий епітаксіальний токоприймач розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор.

Параметри епітаксіального монокристалічного кремнію

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості монокристалічного кремнієвого епітаксійного фіксатора

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.

Гарячі теги: Монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор, Китай, Виробники, Постачальники, Фабрика, Індивідуальний, Масовий, Розширений, Міцний

Тег продукту

Пов'язана категорія