Монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor — це графітовий продукт, покритий високоочищеним SiC, який має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій із покриттям із карбіду кремнію CVD, який використовується в процесах формування епітаксійного шару на напівпровідникових пластинах, який має високу теплопровідність і чудові властивості розподілу тепла.
Наш монокристалічний кремнієвий епітаксіальний токоприймач розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш монокристалічний кремнієвий епітаксіальний фіксатор.

Параметри епітаксіального монокристалічного кремнію

Характеристики монокристалічного кремнієвого епітаксійного сусцептора

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- Як графітова підкладка, так і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.