Нітрид кремнію (Si₃N₄) — це конструкційний керамічний матеріал із власною теплопровідністю близько 320 Вт/(м·К), який має високу теплопровідність і чудові механічні властивості. Завдяки чудовій стабільності при температурі навколишнього середовища Si₃N₄ став широко поширеним матеріалом для упаковки ......
ДетальнішеУ виробництві високоякісних напівпровідникових пристроїв плівки SiO₂ зазвичай утворюються за допомогою процесів окислення для обробки поверхні підкладки, і їхнє загальне застосування включає бар’єрні шари допантів, шари поверхневої ізоляції, оксидні шари затвора, польові оксиди та жертвуючі оксиди. ......
ДетальнішеЗ розвитком технологій розумні продукти, такі як мобільні телефони, комп’ютери, електромобілі та роботи, стали частиною життя людей. Ці продукти містять велику кількість напівпровідникових чіпів, а для виготовлення чіпів потрібне напівпровідникове обладнання, наприклад машини для травлення, машини д......
ДетальнішеВисокоопірні кремнієві пластини (HR-Si), як випливає з назви, є монокристалічним кремнієвим матеріалом із надзвичайно високим питомим опором. У передовій сфері виробництва напівпровідників високочастотні втрати стали серйозною проблемою при розробці мікросхем високого класу. Завдяки своєму надвисоко......
ДетальнішеФокусне кільце, яке також називають компенсаційним кільцем або обмеженим кільцем, є незамінним компонентом обладнання для травлення, особливо обладнання для плазмового сухого травлення. Процеси нанорозмірного прецизійного травлення в сучасному виробництві напівпровідників були б неможливими без цьог......
ДетальнішеЗавдяки точному регулюванню профілів нагрівання та охолодження процес відпалу може активувати атоми легуючих домішок, відновлювати пошкодження решітки, знімати внутрішню напругу та покращувати електричну надійність пластин. Ці критично важливі підвищення продуктивності закладають міцну основу для по......
Детальніше