Основною кристалічною елементарною коміркою монокристалічного кремнію є структура цинкової суміші, в якій кожен атом кремнію хімічно зв’язується з чотирма сусідніми атомами кремнію. Ця структура також зустрічається в монокристалічних вуглецевих алмазах.
ДетальнішеУ міру того як технологічні вузли продовжують скорочуватися, утворення надмілких з’єднань представляє значні проблеми. Процеси термічного відпалу, включаючи швидкий термічний відпал (RTA) і спалаховий відпал (FLA), є життєво важливими методами, які підтримують високі швидкості активації домішок при ......
ДетальнішеУ виробництві напівпровідників точність і стабільність процесу травлення є найважливішими. Одним із критичних факторів досягнення високоякісного травлення є гарантія того, що вафлі лежать ідеально рівно на лотку під час процесу. Будь-яке відхилення може призвести до нерівномірного іонного бомбардува......
Детальніше