Продукти

Фокусні кільця з карбіду кремнію, найважливіші частини кільця, спеціально розроблені для покращення рівномірності та стабільності травлення пластин у плазмовому травленні напівпровідників. Вони відомі своєю чудовою ефективністю у сприянні рівномірному розподілу плазми та оптимізації середовища електричного поля.

Зносостійка втулка Semicorex SiC — це високоміцна керамічна втулка з карбіду кремнію, розроблена для надзвичайної довговічності, високотемпературної стабільності та тривалої зносостійкості у складних промислових системах. Вибір Semicorex гарантує виняткову чистоту матеріалу, точну спеціальну обробку та незмінно надійні керамічні компоненти, підкріплені глибоким досвідом передового виробництва SiC.*

Ущільнювальні кільця Semicorex SiC виготовлені з високоякісної кераміки з карбіду кремнію, підходять для широкого застосування в промисловості. Semicorex надає дорогоцінні керамічні вироби для механічної обробки та шукає довгострокових відносин із клієнтами.*

Покриті SiC графітові MOCVD-приймачі є основними компонентами, що використовуються в металоорганічному обладнанні для хімічного осадження з парової фази (MOCVD), яке відповідає за утримання та нагрівання підкладок пластин. Завдяки чудовому терморегулюванню, хімічній стійкості та стабільності розмірів графітові MOCVD-суцептори з SiC-покриттям вважаються оптимальним варіантом для високоякісної епітаксії пластинчастої підкладки.

Графітові тиглі з покриттям із карбіду кремнію — це важливі контейнери, які виготовлені з графітового матеріалу, покритого карбідом кремнію, що забезпечує чудову стійкість до високих температур і стійкість до хімічної корозії. Завдяки чудовій продуктивності та надійній якості графітові тиглі Semicorex із покриттям SiC є оптимальним рішенням для досягнення контрольованого високоякісного виробництва кристалів.

Кварцовий тигель Semicorex for Silicon Single Crystal Pulling виготовлений з високоякісного плавленого кварцу, тигель має кілька шарів, внутрішній шар надзвичайно високої якості та щільний, щоб забезпечити якість монокристалу. Semicorex є професіоналом для Quartz Crucible for Silicon Single Crystal Pulling продуктів із великим досвідом.*