Фокусні кільця з карбіду кремнію

Фокусні кільця з карбіду кремніюзазвичай встановлюються в реакційній камері обладнання для травлення, розташованої навколо опорної поверхні пластини електростатичного патрона. Така установка може успішно заповнити різницю у висоті між краєм пластини та електродом, фокусуючи плазму в реакційній камері на поверхні пластини для досягнення рівномірного травлення, а також запобігаючи дифузії плазми назовні від краю пластини, щоб уникнути проблеми надмірного травлення краю пластини.

Високоякісні компоненти травлення можуть забезпечити стабільне середовище електричного поля для процесу травлення. Фокусні кільця Semicorex з карбіду кремнію виготовляються з високопродуктивних матеріалівматеріали з карбіду кремніюза допомогою хімічного осадження з парової фази. Наші кільця фокусування здатні регулювати розподіл електричного поля навколо пластини, значно зменшуючи відхилення травлення або явища розряду, спричинені нерівномірністю електричних полів.

Напівпровідникові пластини легко вразливі до забруднення частинками, тому процеси плазмового травлення необхідно проводити в ультрачистих реакційних камерах іонного травлення. Будучи основним компонентом обладнання для травлення, фокусні кільця з карбіду кремнію безпосередньо контактують з краєм пластини під час фактичної роботи, що також вимагається для виконання надвисоких стандартів чистоти. Фокусні кільця Semicorex з карбіду кремнію пропонують переваги високої чистоти та низького вмісту домішок, які можуть точно відповідати суворим вимогам щодо чистоти процесів травлення напівпровідників. Це значною мірою сприяє зменшенню дефектів пластин і підвищує вихід виробництва пластин.

Під час процесу плазмового травлення в реакційну камеру вводять травильні гази, такі як фтор і кисень. Стійкість травильного обладнання до хімічної корозії серйозно погіршується довготривалою корозією, спричиненою технологічними газами. Завдяки чудовій стійкості до плазмової корозії карбід кремнію є оптимальним вибором матеріалу для виробництва фокусних кілець. Зменшуючи ймовірність пошкодження компонентів, пов’язаних із корозією, і зводячи до мінімуму потребу в частій заміні та обслуговуванні, фокусні кільця з карбіду кремнію можуть значно підвищити ефективність виробництва напівпровідникових пластин.