Продукти

Виготовлене з високоефективних матеріалів CVD SiC, фокусне кільце Semicorex CVD SiC для 2L10-506419-21 є важливою частиною кільця, розробленою спеціально для обладнання TEL VIGUS RK4, яке використовується в процесах точного травлення напівпровідників. Вибір Semicorex означає, що ви отримаєте ідеальні рішення CVD SiC для досягнення точних і рівномірних результатів травлення.

Планетарні опори з покриттям Semicorex SiC — це високоточні опорні компоненти з графіту, покриті щільним покриттям з карбіду кремнію, спеціально розроблені для передового обладнання MOCVD. Вони можуть забезпечити рівномірний потік газу та розподіл тепла, таким чином сприяючи створенню оптимального епітаксійного середовища.

Човни для керамічних пластин Semicorex SiC — це високоефективні рішення з карбіду кремнію, розроблені для безпечної підтримки та транспортування пластин під час найсучаснішого виробництва напівпровідників. Завдяки цим чудовим перевагам вони добре підходять для точних високотемпературних процесів виробництва напівпровідників, таких як процеси окислення, дифузії та CVD.

Газовідвідні диски з SiC-покриттям Semicorex є незамінними графітовими компонентами, що застосовуються в напівпровідниковому епітаксіальному обладнанні, розробленому спеціально для регулювання потоку реакційного газу та сприяння рівномірному розподілу газу в реакційній камері. Виберіть Semicorex, оберіть оптимальні рішення для відведення газу для високоякісних результатів епітаксійної обробки пластин.

Semicorex SiC Wafer Carrier виготовлено з високочистої кераміки з карбіду кремнію за допомогою технології 3D-друку, що означає, що він може виготовляти дорогоцінні компоненти за короткий час. Вважається, що компанія Semicorex надає кваліфіковану високоякісну продукцію нашим клієнтам у всьому світі.*

Верхні ґрунтові кільця з SiC-покриттям Semicorex CVD є основними кільцеподібними компонентами, розробленими спеціально для складного обладнання для плазмового травлення. Як провідний у галузі постачальник напівпровідникових компонентів, Semicorex зосереджується на постачанні високоякісних, довговічних і надчистих верхніх заземлюючих кілець із CVD SiC-покриттям, щоб допомогти нашим цінним клієнтам підвищити ефективність роботи та загальну якість продукції.