Планетарні токоприймачі з SiC покриттям

Планетарні фіксатори з покриттям Semicorex SiC є незамінним допоміжним компонентом, розробленим для епітаксійного росту напівпровідників в обладнанні Aixtron G2, в якому вони здатні надійно підтримувати пластини та обертатися у планетарному русі. Таким чином можна успішно досягти точної термічної однорідності та рівномірного розподілу газу по поверхні пластини, що призводить до нанесення високоякісного епітаксійного шару на пластини.

Переваги планетарних токоприймачів із покриттям Semicorex SiC

1. Багатовафельний кишеньковий дизайн

З покриттям Semicorex SiCпланетарні суцепторимають рівномірний розподіл кількох вафельних кишень з точно контрольованими розмірами. Ці кишені для пластин здатні міцно утримувати підкладки для пластин під час процесу епітаксійного росту, що може ефективно мінімізувати варіації епітаксійного процесу, викликані небажаним рухом підкладок для пластин. Крім того, ця багатопластинна конструкція кишені дозволяє піддавати епітаксійному осадженню декілька пластин одночасно за один процес, що значно підвищує загальну ефективність процесу епітаксійного росту.

2. Оптимізоване розташування отворів для потоку газу

Semicorex включає в себе ретельно розроблений набір каналів потоку газуSiC-caotedпланетарні фіксатори, що покращує оптимізацію динаміки газового потоку та теплової рівномірності по всій поверхні пластини протягом усього епітаксійного процесу. Ця продумана конструкція дозволяє точно контролювати швидкість потоку газу та його розподіл усередині реакційної камери, що є важливим для досягнення високоякісних тонких плівок, рівномірної товщини шару та надійної загальної роботи пристрою.

3. Надвисока чистота

Планетарні токоприймачі з SiC-покриттям Semicorex виготовляються з матеріалів надвисокої чистоти та надзвичайно низьким рівнем домішок, що повністю відповідає строгим вимогам до чистоти для виробництва напівпровідників. Вони ефективно мінімізують забруднення пластин, спричинене виділенням металевих газів, навіть за умов високої температури та корозії, типових для епітаксійних процесів.

4. Тривалий термін служби

Контроль якості Semicorex починається з нашого суворого відбору сировини. Планетарні токоприймачі з SiC-покриттям прецизійно виготовлені з напівпровідникового графіту та карбіду кремнію, що забезпечує чудову стійкість до високих температур і корозії, завдяки чому вони чудово витримують складні умови епітаксійної роботи при високій температурі та корозії. Завдяки таким чудовим властивостям матеріалу планетарні токоприймачі Semicorex з SiC-покриттям можуть підтримувати стабільну продуктивність і структурну цілісність і уникати пошкодження поверхні та зниження продуктивності в реакційних камерах з високою температурою та високою корозією, що значно подовжує термін служби планетарних токоприймачів із SiC-покриттям.