SiC керамічне весло

Керамічна лопатка Semicorex SiC — це вдосконалена деталь, розроблена для застосування у високотемпературних напівпровідникових печах, таких як окислення та дифузія. Весло діє як консольна опора для утримання та переміщення пластин при високих температурах. Керамічна пластина Semicorex SiC дає керамічні компоненти високої чистоти та високої міцності для високотемпературних процесів, які вимагають надійності, стабільності та продуктивності в процесі виробництва.

Лопатки виготовляються з високочистого матеріалукарбід кремнію (SiC), спеціально розроблений, щоб протистояти жорстким термічним і хімічним середовищам процесу виробництва напівпровідників. Коли пластини обробляються шляхом окислення та дифузії, пластини піддаються впливу температур вище 1000 градусів C, а також реакційно-активних газів, таких як кисень, пара або легуючі атмосфери. При цих температурах структурна цілісність залежатиме від чистоти матеріалу.

Ще одна важлива характеристика керамічних лопатей SiC — це їх чудова продуктивність при високих температурах. Завдяки температурі плавлення SiC 2700+C, лопаті зберігають міцність і механічну стабільність під впливом високих температур.

температури з часом. Термічні властивості обмежують деформацію та розтріскування матеріалу під час повторюваних циклів нагрівання та охолодження, забезпечуючи тривалий термін служби у виробничих середовищах.

Обробка напівпровідників вимагає надзвичайно чистого середовища, оскільки навіть незначна кількість домішок може вплинути на продуктивність і поведінку пристроїв. SiC-матеріал, який використовується в лопатях, має SiC-покриття хімічним напиленням (CVD), яке забезпечує винятково високу чистоту матеріалу при мінімізації металевого забруднення. Керамічне весло SiC залишається чистим і стабільним протягом усього терміну служби. Як консольні опори, лопаті повинні забезпечувати надійну опору для пластин або човнів під час вставлення та виймання з печі. ЧерезSiCЗавдяки властивій міцності та жорсткості вони володіють хорошими несучими властивостями з мінімальним прогином, що є важливим для належного поводження з пластинами та вирівнювання. У окислювальних і дифузійних печах корозійні атмосфери можуть з часом атакувати і руйнувати традиційні матеріали, але SiC має здатність зберігати свою хімічну стабільність, подовжуючи термін служби лопаті. Це призводить до значного зниження витрат на технічне обслуговування та заміну, оскільки лопатки не потрібно замінювати чи ремонтувати так часто.

На додаток до продуктивності, є гнучкість у налаштуванні лопатей для конкретного обладнання та процесів. Розміри, допуски та обробку поверхні можна зробити гнучкими, щоб забезпечити відповідність між конструкціями печі та будь-якою іншою системою обробки пластин. Здатність досягти високого ступеня точності розмірів за допомогою точної механічної обробки кераміки також дозволить виробляти лопатки, які відповідають складній геометрії. Весь цей набір функцій призначений для забезпечення безперебійної роботи та легкої інтеграції в існуючі виробничі лінії.

SiC керамікалопатки, завдяки поєднанню високої чистоти, термічної стабільності, механічної міцності та хімічної стійкості, є важливими матеріалами в процесах окислення та дифузії напівпровідників. Забезпечуючи стабільну чисту платформу для передачі пластин, вони безпосередньо сприяють підвищенню виходу, послідовності процесу та загальної ефективності виробництва.