SiC весла

Лопаті Semicorex SiC є «носіями» пластин, які подають пластини в печі з температурою вище 1000 градусів за Цельсієм. Це їхня ключова перевага: висока чистота, високотемпературна стабільність, для збереження механічної жорсткості під час транспортування зразка в екстремальних умовах. Матеріали високої чистоти ефективні для запобігання забрудненню пластини металевими домішками; так само впливає на високу температурну стабільністькарбід кремнію, оскільки він буде підтримувати хімічну стабільність при температурах обробки, які виключають виділення металевих домішок або частинок від забруднення пластини, забезпечуючи стабільний вихід пластини. нарешті,карбід кремнію (SiC)також сумісні з інтегрованими системами передачі пластин, ще більше зменшуючи залежність від людей і збільшуючи пропускну здатність.

Лопаті SiC є унікальним компонентом носія, спеціально для транспортування та інтеграції напівпровідникової пластини в пакетне робоче навантаження в таких процесах, як високотемпературне окислення та дифузія, серед інших. Зроблено з високою чистотоюкарбід кремнію (SiC), SiC Paddles забезпечують термічну стабільність, механічну міцність і хімічну стійкість для забезпечення стабільного транспортування при температурах вище 1000 °C. Лопаті SiC необхідні для обробки пластин: вони забезпечать належне поводження з крихкими підкладками, зберігаючи при цьому цілісність і консистенцію під час процесу окислення, дифузії та відпалу.

Розроблені як міцні та надійні, SiC Paddles є консольною рукою, яка утримує вафельні човники або пластини. Лопатка підтримує пластини під час їх вставлення або вилучення з технологічної камери. Звичайні матеріали руйнуються при таких високих температурах через деформацію, викривлення або хімічну деградацію. Механічна стабільність і структурна цілісність карбіду кремнію дозволяє веслу витримувати численні термічні цикли без втрати форми або функції. Ця здатність важлива для підтримки вирівнювання печі, забезпечення відсутності пошкодження пластин під час процесу та мінімізації дорогого простою.

Термостабільність SiC Paddles доповнюється чудовою хімічною стійкістю до реактивних газів, які зазвичай з’являються в процесах окислення та дифузії (наприклад, кисню, хлору та інших агресивних речовин при високій температурі). Багато матеріалів руйнуються або забруднюються під впливом високої температури та кисню. Карбід кремнію є хімічно інертним, а його щільна мікроструктура гарантує відсутність хімічних реакцій, забезпечуючи як структурну цілісність пластини, так і чисте середовище для пластини. Результуючий ризик забруднення зведений до мінімуму для виробників напівпровідників, які працюють на деяких найдосконаліших технологічних вузлах, для яких навіть мікроелементи забруднення можуть спричинити значні зміни в продуктивності пристрою.

Механічна цілісність, пов’язана з SiC Paddles, також забезпечує цінність у процесах обробки. Для консольної структурної форми потрібен матеріал, який може утримувати вагу пакетів шарів і не згинається та не провисає. Дуже високий модуль пружності та дуже висока твердість карбіду кремнію роблять його хорошим критерієм для виконання необхідних механічних структурних функцій. SiC Paddle зберігає площинність і структуру навіть із пластинами. Це означає постійний контроль печі та її умов протягом тривалих періодів виробництва.