SiC технологічні труби

Технологічні труби Semicorex SiC є важливими структурними компонентами в процесі окислення, дифузії, RTA/RTP у процесі виробництва напівпровідників. Як правило, це труба великого діаметру як простір для топки реактора, всередині якого відбуватимуться всі хімічні процеси. Отже, міцність і стійкість до термічного удару є основними характеристиками продукту.

Технологічні труби SiC виготовляються компанієюспечений карбід кремнію, це може бути SiSiC, SSiC або RSiC і CVD покриття SiC на поверхні, яке утворює шар надвисокої чистоти. Це може запобігти забрудненню частинками, золою тощо. Цей матеріал має дуже високу стійкість до термічного удару, тому технологічні труби з SiC можуть залишатися стабільними при високій температурній стійкості та запобігати випаданню домішок при високих температурах і таким чином забруднювати навколишнє середовище.

Ці технологічні труби з SiC розроблені для використання в атмосферах з реактивним газом (киснем), захисним газом (азотом) і мінімальною кількістю хлористого водню, і забезпечують виняткову хімічну стійкість, термічну стабільність і чистоту матеріалу до 1250 °C. Труби Semicorex SiC Process Tubes поєднують найсучасніше виробництво 3D-друку з покриттям хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб забезпечити чудову продуктивність і термін служби в найекстремальніших термічних і хімічних умовах.

Труби Semicorex SiC Process Tubes виготовляються за допомогою інтегрованого процесу формування 3D-друку, а не за допомогою звичайної пресованої або зібраної труби. Цей виробничий процес забезпечує безперервну послідовну структуру кераміки без швів і слабких ділянок, створюючи високий ступінь складності та точність розмірів, що може зменшити концентрацію напруги, підвищуючи механічну міцність. Крім того, монолітна структура забезпечує герметичність для природного газу, зменшуючи забруднення та витік під час високотемпературних процесів.

TheSiCof body є матеріалом із наднизьким вмістом домішок (< 300 ppm), що забезпечує відмінну чистоту матеріалу та стабільність для реактивних атмосфер. Крім того, трубка покрита шаром карбіду кремнію CVD (< 5 ppm) для покращення стійкості до корозії та захисту поверхні.

Semicorex надає індивідуальні послуги, ми можемо виготовляти за кресленнями клієнтів, щоб відповідати вимогам технічних характеристик. Таким чином, технологічні труби Semicorex SiC можуть альтернативно підходити не лише для горизонтальних печей, а й для вертикальних печей.