Китай Підкладка SiC Виробники, постачальники, фабрика

Тонкий шматок напівпровідникового матеріалу називається пластиною, яка складається з дуже чистого монокристалічного матеріалу. У процесі Чохральського циліндричний злиток високочистого монокристалічного напівпровідника виготовляється шляхом витягування затравкового кристала з розплаву.

Карбід кремнію (SiC) і його політипи були частиною людської цивілізації протягом тривалого часу; технічний інтерес цієї твердої та стабільної суміші був усвідомлений у 1885 та 1892 роках Коулессом та Ачесоном для цілей шліфування та різання, що призвело до її виробництва у великих масштабах.

Відмінні фізичні та хімічні властивості роблять карбід кремнію (SiC) помітним кандидатом для різноманітних застосувань, включаючи високотемпературні, високопотужні, високочастотні та оптоелектронні пристрої, структурний компонент термоядерних реакторів, матеріал оболонки для газового охолодження реактори поділу та інертна матриця для трансмутації Pu. Широко використовуються різні політипи SiC, такі як 3C, 6H і 4H. Іонна імплантація є критично важливою технікою для вибіркового введення легуючих добавок для виробництва пристроїв на основі Si, для виготовлення пластин SiC p-типу та n-типу.

Злитокпотім нарізається на пластини карбіду кремнію SiC.

Властивості матеріалу карбіду кремнію

Різні типи пластин SiC

Є три види:пластина n-типу sic, p-тип sic пластинаінапівізоляційна пластина високої чистоти. Легування відноситься до іонної імплантації, яка вводить домішки в кристал кремнію. Ці легуючі добавки дозволяють атомам кристала утворювати іонні зв’язки, роблячи колись внутрішній кристал зовнішнім. Цей процес вводить два типи домішок; N-тип і P-тип. «Тип», яким він стане, залежить від матеріалів, які використовуються для створення хімічної реакції. Різниця між пластинами SiC N-типу та P-типу полягає в тому, що основний матеріал використовується для створення хімічної реакції під час легування. Залежно від використовуваного матеріалу зовнішня орбіталь матиме п’ять або три електрони, що утворюють один негативно заряджений (N-тип) і один позитивно заряджений (P-тип).

Пластини SiC N-типу в основному використовуються в нових енергетичних транспортних засобах, високовольтних передачах і підстанціях, побутовій техніці, високошвидкісних поїздах, двигунах, фотоелектричних інверторах, імпульсних джерелах живлення тощо. Вони мають переваги зменшення втрат енергії обладнання, покращення надійність обладнання, зменшення розміру обладнання та підвищення продуктивності обладнання, а також мають незамінні переваги у створенні силових електронних пристроїв.

Пластина високої чистоти з напівізоляцією SiC в основному використовується як підкладка потужних радіочастотних пристроїв.

Епітаксія - осадження нітридів III-V

Епітаксійні шари SiC, GaN, AlxGa1-xN і InyGa1-yN на підкладці з SiC або сапфіровій підкладці.