SiC керамічні вакуумні патрони

Точні мікро-отвори рівномірно розподілені по поверхні SiC керамічних вакуумних патронів, що забезпечує надійне підключення до зовнішнього вакуумного обладнання. Під час роботи вакуумний насос активується для втягування повітря через отвори, створюючи негативний тиск між напівпровідниковою пластиною та вакуумним патроном. Таким чином, пластина рівномірно та міцно тримається на поверхні вакуумного патрона.

Переваги керамічних вакуумних патронів Semicorex SiC

1. Преміальний вибір матеріалу

НапівкорексКерамічні вакуумні патрони SiCретельно вибирайте карбід кремнію високої чистоти як сировину. Суворий контроль Semicorex за чистотою матеріалу ефективно запобігає забрудненню пластин, викликаним домішками під час роботи, таким чином задовольняючи зростаючі вимоги до чистоти виробництва та продуктивності.

2. Точна точність обробки

Керамічні вакуумні патрони Semicorex SiC проходять дзеркальне полірування поверхні, а їх площинність контролюється на рівні 0,3–0,5 мкм. Цей надзвичайний контроль площинності може забезпечити оптимальний ефект контакту, що значно знижує ризик подряпин на пластинах, спричинених грубими контактними поверхнями. Кожен мікроотвір і канавка у вакуумних патронах оброблені точно, що забезпечує стабільний і рівномірний ефект адсорбції під час роботи.

3. Гнучкі послуги з налаштування

Semicorex надає нашим шановним клієнтам послуги з налаштування, пропонуючи різні варіанти розмірів керамічних вакуумних патронів SiC, наприклад 6-дюймовий, 8-дюймовий, 12-дюймовий. Ми можемо адаптувати допуски на розміри, розмір пор, площинність і шорсткість відповідно до вимог замовника, забезпечуючи ідеальну відповідність вашому обладнанню для обробки та перевірки напівпровідників.

4. Відмінна міцність і термін служби

НапівкорексSiC керамікавакуумні патрони формуються ізостатичним пресуванням і потім спікаються при високій температурі. Після цієї технології спеціальних процесів керамічні вакуумні патрони Semicorex SiC мають численні відмінні характеристики, такі як легкість, висока жорсткість, висока зносостійкість і низький коефіцієнт теплового розширення. Ці властивості дозволяють керамічним вакуумним патронам Semicorex SiC постійно працювати в складних умовах обробки та обробки напівпровідникових пластин.