Силіконова пластина для травлення PSS

Кремнієва пластина для травлення Semicorex для травлення PSS — це високоякісний надчистий графітовий носій, який спеціально розроблений для процесів епітаксійного росту та обробки пластин. Наш носій може витримувати суворе середовище, високі температури та жорстке хімічне очищення. Кремнієва пластина для травлення PSS має відмінні властивості розподілу тепла, високу теплопровідність і є економічно вигідною. Наша продукція широко використовується на багатьох європейських та американських ринках, і ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Кремнієва пластина для травлення Semicorex для травлення PSS розроблена для найвибагливіших застосувань епітаксійного обладнання. Наш надзвичайно чистий графітовий носій може витримувати суворе середовище, високі температури та жорстке хімічне очищення. Носій з покриттям SiC має чудові властивості розподілу тепла, високу теплопровідність і є економічно ефективним.

Параметри силіконової пластини для травлення PSS

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300