Solid Silicon Carbide Focusing Ring Semicorex є ключовим компонентом у виробництві напівпровідників, стратегічно розташованим за межами пластини для підтримки прямого контакту. Використовуючи прикладену напругу, це кільце фокусує плазму, що проходить через нього, тим самим підвищуючи рівномірність процесу на пластині. Виготовлене виключно з карбіду кремнію, отриманого методом хімічного осадження з парової фази (CVD SiC), це фокусне кільце втілює виняткові якості, яких вимагає напівпровідникова промисловість. Компанія Semicorex займається виробництвом і постачанням високопродуктивного кільця фокусування з твердого карбіду кремнію, яке поєднує якість із економічною ефективністю.
У виробництві напівпровідників кільце фокусування з твердого карбіду кремнію Semicorex відіграє вирішальну роль, діючи як екран, зберігаючи цілісність пластини під час процесу травлення. Його ретельно розроблена конструкція забезпечує точне й рівномірне травлення, тим самим полегшуючи виробництво складних напівпровідникових елементів, які демонструють чудову продуктивність і надійність.
Карбід кремнію є обраним матеріалом для фокусуючого кільця через його чудову стійкість до плазмової корозії під час впливу плазми у вакуумній реакційній камері. Фокусуюче кільце з твердого карбіду кремнію перевершує традиційний кремній у кількох аспектах, зокрема:
(1) Висока щільність, яка мінімізує швидкість травлення.
(2) Чудова ширина смуги та чудові ізоляційні властивості.
(3) Виняткова теплопровідність, низький коефіцієнт теплового розширення та стійкість до теплового удару.
(4) Висока еластичність у поєднанні з чудовою стійкістю до механічних впливів.
(5) Видатна твердість, зносостійкість і стійкість до корозії.
Провідність і стійкість до іонного травлення карбіду кремнію подібні до кремнію, що робить кільце фокусування з твердого карбіду кремнію ідеальним матеріалом для цього застосування.
Solid Silicon Carbide Focusing Ring Semicorex є найсучаснішим рішенням у сфері виробництва напівпровідників. Він використовує унікальні властивості CVD SiC для полегшення надійних, високоефективних процесів травлення, що значно сприяє розвитку напівпровідникових технологій.