Тримач затравкового кристала з покриттям TaC

Субстрат зПокриття TaCТримач затравкового кристала зазвичай виготовляється з графіту, карбіду кремнію або композитних матеріалів вуглець/вуглець, а потім на його поверхню наноситься шар покриття TaC за допомогою вдосконаленої технології хімічного осадження з парової фази (CVD). Тримач затравкового кристала з покриттям TaC, виготовлений цим методом, має чудову стійкість до корозії, надмеханічну міцність, гарну стійкість до високих температур і ефективну теплопровідність.

Функція тримача затравкових кристалів з покриттям TaC

1. Функція підтримки

Тримач затравкових кристалів із покриттям TaC від Semicorex забезпечує стабільну опорну платформу для затравкових кристалів, гарантуючи, що затравковий кристал зберігає фіксоване положення в складних умовах, таких як висока температура та високий вакуум. Це ефективно запобігає таким проблемам, як зміщення кристалів або пошкодження від вібрації та потоку повітря, і таким чином забезпечує безперервність і стабільність росту кристалів.

2. Захисний ефект

Тримач затравкового кристала з покриттям TaC встановлений над кришкою графітового тигля та ізолює графітову кришку від високотемпературних парів Si. Це ефективно запобігає корозії, спричиненій парами, і подовжує термін служби графітової кришки. Крім того, притаманна хімічна стабільність і термостійкість покриття TaC також допомагають зменшити введення домішок, забезпечуючи стабільне та чисте середовище для росту затравкових кристалів.

3. Контроль температури

У тримачі затравкових кристалів із покриттям Semicorex TaC використовуються технології виробництва, які є передовими в галузі. Точний контроль температури теплового поля може бути досягнутий шляхом професійної оптимізації їх форми, розмірів і товщини покриття. Це значно знижує рівень дефектів і ефективно сприяє рівномірному росту кристалів.