Тефлонові касети

Касети Teflon Semicorex-це високоефективні вафлі, спеціально розроблені для використання в вимогливих хімічних середовищах, де чистота, хімічна стійкість та термічна стійкість є важливими. Ці касети, виготовлені з політетрафторетилену з високою чистотою (PTFE), ці касети широко використовуються при виробництві напівпровідників, вологому травленні, хімічному чистку та інших застосуванні, де вплив високоагресивних хімічних речовин є звичайним. Їх нереактивна природа робить їх ідеальними для поводження з делікатними субстратами, такими як кремнієві вафлі, скляні панелі та інші точні компоненти, не вводячи забруднення або частинок у процес.

У різних процесах виробництва напівпровідників, таких як літографія, травлення та іонна імплантація, касети відіграють певну роль у транспортуванні та перенесенні вафель між різними пристроями. Різне технологічне обладнання може мати різні вимоги до інтерфейсів для касет, щоб переконатися, що вафельні носії можуть бути точно отримані та розміщені.

З точки зору матеріалу та дизайну матеріали, стійкі до тепла, мають чудові механічні властивості, стабільність розмірів і є довговічними, зазвичай використовуються антистатичні, низькі випередження, низькі опади та переробку. Різні розміри вафель, обробні вузли та процеси використовують різні матеріали. Загальні матеріали - PFA, PTFE, PP, Peek, PES, PC, PBT, PEI, COP тощо.

Тефлонові касети пропонують чудову хімічну стійкість у навколишньому середовищі з використанням гідрофторної кислоти, азотної кислоти, сірчаної кислоти та інших сильних корозій. На відміну від звичайних матеріалів, таких як поліпропілен або нержавіюча сталь, PTFE не погіршується; не набрякає; вилуговує речовин у суворих хімічних ваннах. Таким чином, продуктивність гарантується протягом тривалих періодів і, отже, надійність касет для високопропускних виробничих ліній та надолійних середовищ. Його стійкість означає менші потреби в обслуговуванні та частоту заміни, тим самим зменшуючи довгострокові експлуатаційні витрати.

Тефлонові касети демонструють дуже високу термічну стійкість. Вони можуть легко витримати температури від -200 ° C до +260 ° C, що застосовується як для кріогенних, так і для високотемпературних процесів. Навіть розміщені у нагріті сушіння або холодних хімічних ванн, касети не втрачають своєї конструкційної сили; Вони не викривляють і не тріщаються, гарантуючи, що вафлі залишатимуться безпечно утримуватися під час переробки. Ця стійкість температури суттєво сприяє обробці контролю та рівномірності, які є критичними для виготовлення напівпровідника та MEMS.

Не менш важливою характеристикою тефлонових касет є його інертна, антипригарна поверхня. PTFE за своєю суттю не дозволяє адсорбцію частинок та хімічних залишків, тому зменшуючи ризики забруднення в чистому середовищі. Це повинно поєднуватися з плавною обробкою поверхні, що дозволяє промивати легке та сушіння, тим самим чистіші результати та швидший час циклу. У напівпровідниковій обробці, де дефекти можуть бути спричинені навіть мікроскопічними забрудненнями, цей рівень чистоти та хімічної інертності є обов'язковим.

Кожна касета точно зроблена для допусків жорсткого розміру, гарантуючи стійке вирівнювання вафель та відстань під час переміщення та розміщення в рідину. Їх легко розроблена форма допомагає швидкому хімічному потоку та дренажу, що прискорює хімічні обмінні курси та покращує очищення або травлення рівномірності на поверхні вафель.  Касети доступні у стандартних розмірах для 4-дюймового, 6-дюймового та 8-дюймового вафля, з параметрами налаштування, доступними для відповідності конкретних розмірів підкладки, кількості слотів та вимог до обробки.

Розроблений для сумісності з автоматизованими мокрими лавками та робототехнічними системами обробки вафель, тефлонові касети легко інтегруються в більшість напівпровідникових виробничих установ. Їх надійне будівництво та фініш з чистою кімнатами відповідають суворим вимогам середовища, сертифікованих ізо. Усі касети проходять ретельний огляд і попередньо очищені у надвимальній воді для відповідності стандартам чистоти, необхідних для просунутого виробництва мікроелектроніки. Сертифікати про відповідність та повне простежуваність матеріалів можуть бути надані для забезпечення дотримання протоколів забезпечення якості.