Вафельний технологічний нагрівач

Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Ми зосереджені на напівпровідникових галузях, таких як шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники. Наш технологічний нагрівач вафель має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

Процессний нагрівач пластин Semicorex виготовляється з графіту з покриттям з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому він може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері, 2200°C у вакуумі.
Особливі властивості та невелика маса матеріалу Wafer Process Heater забезпечують високу швидкість нагріву, рівномірний розподіл температури та виняткову точність керування. Порівняно з іншими матеріалами, поверхня карбіду кремнію залишається плоскою завдяки низькому тепловому розширенню навіть при роботі з різкими змінами температури. Нагрівальні плити дуже підходять для складних процесів у системах обробки напівпровідників.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш технологічний нагрівач пластин має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри технологічного нагрівача пластин

Технічна специфікація	ВЕТ-М3
Насипна щільність (г/см3)	≥1,85
Вміст золи (PPM)	≤500
Твердість по Шору	≥45
Питомий опір (μ.Ω.m)	≤12
Міцність на вигин (МПа)	≥40
Міцність на стиск (МПа)	≥70
Макс. Розмір зерна (мкм)	≤43
Коефіцієнт теплового розширення Mm/°C	≤4,4*10-6

Особливості нагрівача пластин

- CVD покриття SiC для збільшення терміну служби.
- Стійкість до високих температур, стійкість до корозії, тривалий термін служби, може покращити якість пластини та врожайність.
- Має надзвичайно низький коефіцієнт теплового розширення, стійкість до високих температур, високу зносостійкість, хорошу ізоляцію, хорошу хімічну стабільність і майже фіолетове (червоне) проникнення видимого світла.

Ми можемо забезпечити графітовий тигель із захистом від окислення та тривалим терміном служби, графітову форму та всі частини графітового нагрівача.