Кришка камери з карбіду кремнію

Кришка камери з карбіду кремнію, яка використовується для вирощування кристалів і обробки пластин, повинна витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex є великомасштабним виробником і постачальником графітових токоприймачів із покриттям з карбіду кремнію в Китаї. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером.

Надіслати запит

Опис продукту

Кришка камери з карбіду кремнію, яка використовується для вирощування монокристалів або MOCVD, або для обробки пластин, повинна витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини епі-шару та стійкості, а також тривалої хімічної стійкості. Вони стійкі до поєднання летючих газів-попередників, плазми та високої температури.
Наша кришка камери з карбіду кремнію розроблена для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про кришку камери з карбіду кремнію.

Параметри кришки камери з карбіду кремнію

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300