Керамічний кінцевий ефектор

Semicorex — ваш партнер із передових графітових компонентів і вузлів для підтримки вищої пропускної здатності та кращого виходу у вашому обладнанні для обробки напівпровідників. Наші експерти з матеріалів готові працювати з вами, щоб розробити оптимальне правильне рішення для ваших вимог щодо обробки, нагрівання та обробки пластин. Наш керамічний кінцевий ефектор має хорошу цінову перевагу та охоплює багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Керамічний кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіях. Кінцевий ефектор повинен мати точні розміри та термостабільність, водночас мати гладку, стійку до стирання поверхню для безпечного поводження з пластинами без пошкодження пристроїв або забруднення частинками. Наш керамічний кінцевий ефектор із карбіду кремнію високої чистоти забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару, а також тривалу хімічну стійкість.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних керамічних кінцевих ефекторів, ми надаємо пріоритет задоволенню клієнтів і пропонуємо економічно ефективні рішення. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером, пропонуючи високоякісні продукти та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри керамічного кінцевого ефектора

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300