6 "Власники вафель

Власники вафель Semicorex 6 "спеціально розроблені для задоволення вимогливих вимог процесів епітаксіального росту SIC (кремнію). Хімічно реактивні середовища, ці власники забезпечують вищу механічну стабільність, термічну однаковості та надійність процесів, що робить їх істотним компонентом для передових додатків епітакси SIC.

Під час процесу виробництва вафель, деякі вафельні субстрати потребують подальшого побудови епітаксіальних шарів для полегшення виготовлення пристроїв. Типові приклади включають світлодіодні пристрої, що випромінюють світло, для яких потрібно підготовка епітаксіальних шарів GAAS на кремнієвих підкладках; Епітаксіальні шари SIC вирощують на провідних підкладках SIC для побудови пристроїв, таких як SBDS та MOSFET для високої напруги, високого струму та інших потужностей; Епітаксіальні шари GAN побудовані на напівізоляційних субстратах SIC для подальшого побудови HEMT та інших пристроїв для зв'язку та інших радіочастотних програм. Цей процес нероздільний від обладнання CVD.

У обладнанні ССЗ підкладка не може бути розміщена безпосередньо на металі або просто на основі для епітаксіального осадження, оскільки він включає різні фактори, такі як напрямок потоку газу (горизонтальний, вертикальний), температура, тиск, фіксація та падіння забруднень. Тому потрібна основа, а потім підкладка розміщується на лоток, а потім на підкладці проводиться епітаксіальне осадження за допомогою технології CVD. Ця база єSIC-покриттяГрафітова база (6 "тримачів вафель).

6 -дюймові власники вафель оптимізовані для відмінного теплового управління, забезпечуючи рівномірний розподіл тепла по поверхні вафель. Це призводить до покращення рівномірності шару, зниженої щільності дефектів та підвищення загального виходу під час епітаксіального зростання SIC. Конструкція вміщує точну схему вафель та вирівнювання, що мінімізує генерування частинок частинок та механічну стрес, що інакше вплине на якість остаточного пристрою.

Незалежно від того, чи проводите ви дослідження та розробки чи повномасштабне виробництво пристроїв на основі SIC, наші 6-дюймові власники вафель забезпечують надійну продуктивність та надійність, необхідні для максимальної ефективності вашого процесу. Ми також пропонуємо послуги з налаштування для адаптації дизайну власників до ваших унікальних параметрів системи, що допомагає вам досягти найвищих стандартів у епітаксіальному виробництві пластувань.