Графітовий токоприймач із покриттям з карбіду кремнію для MOCVD

Semicorex є надійним постачальником і виробником графітового чутливого елемента з покриттям з карбіду кремнію для MOCVD. Наш продукт спеціально розроблений для задоволення потреб напівпровідникової промисловості у вирощуванні епітаксійного шару на чіпі пластини. Виріб використовується як центральна пластина в MOCVD із зубчастою або кільцевою конструкцією. Він має високу термостійкість і стійкість до корозії, що робить його ідеальним для використання в екстремальних умовах.

Надіслати запит

Опис продукту

Наш графітовий токоприймач із покриттям із карбіду кремнію для MOCVD має кілька ключових особливостей, які виділяють його серед конкурентів. Він забезпечує покриття на всій поверхні, уникаючи відшарування, і має стійкість до високотемпературного окислення, забезпечуючи стабільність навіть при високих температурах до 1600°C. Продукт виготовляється з високою чистотою шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування. Він має щільну поверхню з дрібними частинками, що робить його високостійким до корозії кислотою, лугом, сіллю та органічними реагентами.
Наш графітовий токоприймач із покриттям із карбіду кремнію для MOCVD розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це запобігає будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Параметри графітового фіксатора з покриттям карбіду кремнію для MOCVD

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості графітового фіксатора з покриттям карбіду кремнію для MOCVD

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок

Гарячі теги: Графітовий токоприймач із покриттям із карбіду кремнію для MOCVD, Китай, виробники, постачальники, фабрика, індивідуальні, масові, вдосконалені, міцні