Semicorex є надійним постачальником і виробником графітового чутливого елемента з покриттям з карбіду кремнію для MOCVD. Наш продукт спеціально розроблений для задоволення потреб напівпровідникової промисловості у вирощуванні епітаксійного шару на чіпі пластини. Виріб використовується як центральна пластина в MOCVD із зубчастою або кільцевою конструкцією. Він має високу термостійкість і стійкість до корозії, що робить його ідеальним для використання в екстремальних умовах.
Наш графітовий токоприймач із покриттям з карбіду кремнію для MOCVD має кілька ключових особливостей, які виділяють його серед конкурентів. Він забезпечує покриття на всій поверхні, уникаючи відшарування, і має стійкість до високотемпературного окислення, забезпечуючи стабільність навіть при високих температурах до 1600°C. Продукт виготовляється з високою чистотою шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування. Він має щільну поверхню з дрібними частинками, що робить його високостійким до корозії кислотою, лугом, сіллю та органічними реагентами.
Наш графітовий токоприймач із покриттям із карбіду кремнію для MOCVD розроблено для досягнення найкращої ламінарної структури газового потоку, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це запобігає будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.
Параметри графітового токоприймача з покриттям карбіду кремнію для MOCVD
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості графітового фіксатора з покриттям карбіду кремнію для MOCVD
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок