Semicorex є відомим виробником і постачальником високоякісних MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії. Наш продукт спеціально розроблений для задоволення потреб напівпровідникової промисловості, зокрема для нарощування епітаксійного шару на пластинчастому чіпі. Наш токоприймач використовується як центральна пластина в MOCVD із зубчастою або кільцевою конструкцією. Продукт має високу стійкість до високої температури та корозії, що робить його ідеальним для використання в екстремальних умовах.
Наша MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії є чудовим продуктом, який забезпечує покриття на всій поверхні, таким чином уникаючи відшарування. Він має стійкість до високотемпературного окислення, що забезпечує стабільність навіть при високих температурах до 1600°C. Продукт виготовляється з високою чистотою шляхом хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування. Він має щільну поверхню з дрібними частинками, що робить його високостійким до корозії кислотою, лугом, сіллю та органічними реагентами.
Наша пластина MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії гарантує найкращу схему ламінарного потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це запобігає будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини. Наш продукт має конкурентоспроможну ціну, що робить його доступним для багатьох клієнтів. Ми працюємо на багатьох європейських та американських ринках, і наша команда прагне забезпечити відмінне обслуговування та підтримку клієнтів. Ми прагнемо стати вашим довгостроковим партнером у наданні високоякісної та надійної дискової пластини MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії.
Параметри MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
мкм |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Особливості MOCVD Cover Star Disc Plate для вафельної епітаксії
- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок