Сусцептор MOCVD із покриттям SiC

Semicorex є провідним виробником і постачальником MOCVD-сусцепторів із покриттям SiC. Наш продукт спеціально розроблений для напівпровідникової промисловості для нарощування епітаксійного шару на чіпі пластини. Графітовий носій із покриттям із карбіду кремнію високої чистоти використовується як центральна пластина в MOCVD із зубчастою або кільцевою конструкцією. Наш чутливий елемент широко використовується в обладнанні MOCVD, забезпечуючи високу стійкість до тепла та корозії, а також велику стабільність у екстремальних умовах.

Надіслати запит

Опис продукту

Однією з найважливіших особливостей нашого MOCVD-суцептора з SiC-покриттям є те, що він забезпечує покриття на всій поверхні, уникаючи відшарування. Продукт має стійкість до високотемпературного окислення, яка стабільна при високих температурах до 1600°C. Висока чистота досягається за допомогою хімічного осадження з парової фази CVD в умовах високотемпературного хлорування. Продукт має щільну поверхню з дрібними частинками, що робить його високостійким до корозії кислотою, лугом, сіллю та органічними реагентами.
Наш MOCVD-суцептор із SiC-покриттям забезпечує найкращу ламінарну схему потоку газу, що гарантує рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини. Semicorex пропонує конкурентну цінову перевагу та охоплює багато ринків Європи та Америки. Наша команда прагне забезпечити відмінне обслуговування та підтримку клієнтів. Ми прагнемо стати вашим довгостроковим партнером, надаючи високоякісні та надійні продукти, щоб допомогти вашому бізнесу розвиватися.

Параметри MOCVD-суцептора з SiC-покриттям

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості MOCVD-суцептора з SiC-покриттям

- Уникайте відшаровування та забезпечте покриття на всій поверхні
Стійкість до високотемпературного окислення: стабільна при високих температурах до 1600°C
Висока чистота: виготовлено методом CVD хімічного осадження з парової фази в умовах високотемпературного хлорування.
Стійкість до корозії: висока твердість, щільна поверхня і дрібні частинки.
Стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
- Досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу
- Гарантія рівності теплового профілю
- Запобігайте будь-якому забрудненню або дифузії домішок