Ствольна коробка Epi System

Semicorex Barrel Susceptor Epi System — це високоякісний продукт, який забезпечує чудову адгезію покриття, високу чистоту та стійкість до окислення при високій температурі. Його рівномірний тепловий профіль, ламінарна структура газового потоку та запобігання забрудненню роблять його ідеальним вибором для нарощування епіксіальних шарів на пластинчастих чіпах. Його економічна ефективність і можливість налаштування роблять його висококонкурентним продуктом на ринку.

Надіслати запит

Опис продукту

Наша система Barrel Susceptor Epi System — це надзвичайно інноваційний продукт, який забезпечує відмінні теплові характеристики, рівномірний тепловий профіль і чудову адгезію покриття. Його висока чистота, стійкість до окислення при високій температурі та стійкість до корозії роблять його дуже надійним продуктом для використання в напівпровідниковій промисловості. Його захист від забруднень і домішок, а також низькі вимоги до обслуговування роблять його висококонкурентним продуктом на ринку.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наша система Barrel Susceptor Epi System має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.
Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про нашу систему Barrel Susceptor Epi System.

Параметри системи Epi Barrel Susceptor

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості Barrel Susceptor Epi System

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.