Бочковий токоприймач для рідкофазної епітаксії

Якщо вам потрібен графітовий токоприймач, який може надійно та стабільно працювати навіть у найвимогливіших високотемпературних і корозійних середовищах, бочкоподібний пристосувач Semicorex для рідкофазної епітаксії — ідеальний вибір. Його покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову теплопровідність і розподіл тепла, забезпечуючи виняткову продуктивність у виробництві напівпровідників.

Надіслати запит

Опис продукту

Стійкоприймач Semicorex Barrel для рідкофазної епітаксії є найкращим вибором для застосувань у виробництві напівпровідників, які вимагають високої термостійкості та стійкості до корозії. Його високочисте покриття SiC і виняткова теплопровідність забезпечують чудові властивості захисту та розподілу тепла, забезпечуючи надійну та стабільну роботу навіть у найскладніших умовах.

Наш бочкоподібний токоприймач для рідкофазної епітаксії розроблено для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш барель-суцептор для рідкофазної епітаксії.

Параметри бочкоподібного токоприймача для рідкофазної епітаксії

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Характеристики бочкоподібного токоприймача для рідкофазної епітаксії

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність зв’язку, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.