Стійкоприймач Semicorex SiC Coated Barrel Barrel Susceptor для LPE є ідеальним вибором для застосувань для вирощування монокристалів завдяки своїй виключно плоскій поверхні та високоякісному покриттю SiC. Його висока температура плавлення, стійкість до окислення та корозії роблять його ідеальним вибором для використання у високотемпературних та корозійних середовищах.
Шукаєте графітовий сенсор з винятковим розподілом тепла та теплопровідністю? Не дивіться далі, ніж циліндровий токоприймач Semicorex SiC Coated Barrel для LPE, покритий SiC високої чистоти для чудової продуктивності в процесах LPE та інших застосуваннях у виробництві напівпровідників.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш ствол із SiC покриттям для LPE має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.
Параметри стовбура з SiC-покриттям для LPE
Основні характеристики покриття CVD-SIC |
||
Властивості SiC-CVD |
||
Кристалічна структура |
FCC β фаза |
|
Щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Розмір зерна |
μm |
2~10 |
Хімічна чистота |
% |
99.99995 |
Теплоємність |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 °) |
430 |
Теплове розширення (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики стовбура з SiC покриттям для LPE
- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.
- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.
- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.
- Як графітова підкладка, так і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.