Токоприймач стовбура з графітовим покриттям з карбіду кремнію

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite — це спеціальний компонент, розроблений для використання в процесі епітаксії, зокрема для перенесення пластин. Цей стовбур із графітовим покриттям із карбіду кремнію виготовлено з графітового матеріалу, який відомий своєю чудовою теплопровідністю та стабільністю при високих температурах. Для підвищення продуктивності та довговічності графітову поверхню вкрито шаром карбіду кремнію (SiC).

У цьому контексті карбідокремнієве покриття Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite виконує кілька важливих завдань. По-перше, він забезпечує додатковий шар захисту графітової підкладки, що лежить під ним, захищаючи її від хімічних реакцій і зношування, які можуть виникнути під час процесу епітаксії. По-друге, покриття SiC покращує теплові властивості графіту з покриттям карбіду кремнію Barrel Susceptor, забезпечуючи ефективне та рівномірне нагрівання пластин. Такий рівномірний нагрів необхідний для досягнення стабільних і високоякісних епітаксійних шарів на напівпровідникових пластинах.

Конструкція бочкоподібного токоприймача з графітовим покриттям з карбіду кремнію оптимізована для надійного утримання та транспортування кількох пластин під час процесу епітаксії. Його бочкоподібна структура дозволяє легко завантажувати та вивантажувати пластини, забезпечуючи при цьому належний розподіл тепла та термічну стабільність під час роботи.

Загалом графітове покриття з карбіду кремнію для бочкоподібного фіксатора є критично важливим компонентом обладнання для епітаксії, забезпечуючи надійність, довговічність і точний термоконтроль, необхідний для виробництва передових напівпровідникових пристроїв.