Пакетний вафельний кораблик

Semicorex пропонує вафельні човники, п’єдестали та спеціалізовані підставки для пластин як для вертикальної/колонної, так і для горизонтальної конфігурації. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником плівки для покриття з карбіду кремнію. Наш Batch Wafer Boat має гарну цінову перевагу та охоплює більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Semicorex Batch Wafer Boat виготовлено з високоякісного керамічного матеріалу карбіду кремнію для чудової хімічної стійкості та термічної стабільності.
Наш пакетний вафельний човен має гладку поверхню та забезпечує чудову підтримку та захист вафель під час обробки. Покриття SiC забезпечує однорідність і стабільність під час обробки, захищаючи пластини від забруднень і пошкоджень. Завдяки чудовій теплопровідності та чудовій механічній міцності наші тримачі для пластин забезпечують постійні та надійні результати.
Наша команда експертів прагне забезпечити найкращу якість і сервіс. Ми пропонуємо нестандартні конструкції відповідно до ваших конкретних вимог, а наші партійні вафельні човники підтримуються нашою програмою забезпечення якості.

Параметри пакетної вафельної лодки

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Об'ємна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Сила гнучкості	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнуп	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості Batch Wafer Boat

- Висока міцність (твердість за Моосом 9,5, поступається лише алмазу)
- Корозійна стійкість до кислот, лугів, солей і органічних розчинників
- Висока теплопровідність, плазмостійкість, довгий термін служби
- Напівпровідники