Керамічний контейнер для вафель

Semicorex надає напівпровідникову кераміку для ваших OEM-інструментів для напівфабрикатів і компонентів обробки пластин, зосереджуючись на шарах карбіду кремнію в напівпровідниковій промисловості. Ми є виробником і постачальником керамічних вафельних контейнерів протягом багатьох років. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Карбідно-кремнієвий керамічний вафельний носій має гарну стійкість до корозії та відмінну стійкість до високих температур і теплового удару. Крім того, високий модуль пружності забезпечує чудову стабільність розмірів. Крім того, існує нульова пористість і низька щільність пор керамічного матеріалу.
Ми можемо обробляти всі види керамічних вафельних носіїв відповідно до вимог клієнтів.

Параметри керамічного носія для пластин

Технічні властивості
Індекс	одиниця	Значення
Назва матеріалу		Реакційний спечений карбід кремнію	Спечений без тиску карбід кремнію	Перекристалізований карбід кремнію
Композиція		RBSiC	SSiC	R-SiC
Насипна щільність	г/см3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Міцність на згин	МПа (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Міцність на стиск	МПа (kpsi)	1120(158)	3970 (560)	> 600
Твердість	Кнопка	2700	2800	/
Порушення наполегливості	МПа м1/2	4.5	4	/
Теплопровідність	Вт/м.к	95	120	23
Коефіцієнт теплового розширення	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Питома теплоємність	Джоуль/г 0k	0.8	0.67	/
Максимальна температура повітря	℃	1200	1500	1600
Модуль пружності	Gpa	360	410	240

Semicorex виробляє керамічну пластину Carrier у трьох формах: реакційно спечений карбід кремнію (RBSiC), спечений без тиску карбід кремнію (SSiC) і рекристалічний карбід кремнію (R-SiC).

Різниця між SSiC і RBSiC:

1. Процес спікання відрізняється. RBSiC має просочувати вільний Si в карбід кремнію при низькій температурі, SSiC утворюється природною усадкою при 2100 градусах.

2. SSiC має більш гладку поверхню, вищу щільність і вищу міцність, для деяких ущільнювачів із суворішими вимогами до поверхні SSiC буде кращим.

3. Різний час використання за різного PH і температури, SSiC довше, ніж RBSiC

Особливості Ceramic Wafer Carrier

Високочистий графіт із покриттям SiC
Чудова термостійкість і теплова однорідність
Тонкий кристал SiC з покриттям для гладкої поверхні
Висока стійкість до хімічного очищення
Матеріал розроблений таким чином, щоб не було тріщин і розшарувань.

Доступні форми кераміки з карбіду кремнію:

● Керамічний стрижень / керамічний штифт / керамічний поршень

● Керамічна трубка / керамічна втулка / керамічна втулка

● Керамічне кільце / керамічна шайба / керамічна прокладка

● Керамічний диск

● Керамічна плита / керамічний блок

● Куля керамічна

● Керамічний поршень

● Керамічна насадка

● Керамічний тигель

● Інші нестандартні керамічні деталі