Консольне весло SiC на замовлення

Консольна лопатка Semicorex Custom SiC служить критичною ланкою між системою завантаження пластин і серцем дифузійної печі, відповідальною за транспортування кварцових або SiC пластин, навантажених кремнієвими пластинами, у зону високотемпературної обробки. Їх конструкція та властивості матеріалів ретельно оптимізовані для виконання цього складного завдання:

Надійна консольна конструкція для стабільного транспортування пластин:Консольна конструкція, що характеризується жорсткою рукою, що простягається в піч, забезпечує виняткову стабільність і точний контроль руху пластин. Це забезпечує плавне транспортування без вібрацій, зводячи до мінімуму ризик поломки пластини або зсуву під час завантаження та розвантаження.

Висока вантажопідйомність для ефективної пакетної обробки:Внутрішня міцність і жорсткість SiC кераміки дозволяє Custom SiC Contilever Paddle витримувати великі навантаження кремнієвих пластин, максимізуючи пропускну здатність кожного циклу дифузії та сприяючи збільшенню обсягів виробництва.

Точний контроль розмірів для бездоганної інтеграції: Custom SiC Cantilever Paddle ретельно виготовлено відповідно до точних специфікацій розмірів, що забезпечує ідеальне прилягання до системи дифузійної печі та полегшує бездоганну інтеграцію з автоматизованими роботами для обробки пластин.

Зокрема вибір SiC керамікиКарбід кремнію, зв'язаний реакцією (RBSiC)іСпечений карбід кремнію (SSiC), оскільки обраний матеріал для Custom SiC Contilever Paddle пояснюється їхніми винятковими характеристиками роботи у високотемпературному середовищі:

Непохитна стійкість до високих температур: Custom SiC Contilever Paddle демонструє виняткову стійкість до деформації та повзучості навіть при підвищених температурах (до 1600°C), які зустрічаються в дифузійних печах. Це забезпечує послідовну підтримку пластини та запобігає провисанню або вигину, що може поставити під загрозу однорідність пластини.

Виняткова стійкість до термічного удару:Здатність протистояти швидким змінам температури без пошкоджень є вирішальною для збереження цілісності спеціального SiC Contilever Paddle протягом незліченних циклів дифузії. Кераміка SiC перевершує в цьому відношенні, мінімізуючи ризик розтріскування або руйнування, що може призвести до дорогого простою.

Низьке теплове розширення для точного вирівнювання:Мінімальне теплове розширення SiC кераміки гарантує, що Custom SiC Contilever Paddle зберігає стабільність розмірів у широкому діапазоні температур під час експлуатації. Це має вирішальне значення для підтримки точного вирівнювання пластин у печі, забезпечення рівномірного нагрівання та узгоджених профілів дифузії.