Міцний ствол із SiC-покриттям для LPE

Завдяки чудовій щільності та теплопровідності стійкий опорний елемент Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor для LPE є ідеальним вибором для використання в процесах LPE та інших застосуваннях у виробництві напівпровідників. Його високочисте покриття SiC забезпечує чудові властивості захисту та розподілу тепла, що робить його вибором для отримання надійних і стабільних результатів.

Надіслати запит

Опис продукту

Якщо вам потрібен високоякісний графітовий токоприймач із чудовою термостійкістю та стійкістю до корозії, не дивіться далі, ніж міцний ствол із SiC-покриттям Semicorex для LPE. Його покриття з карбіду кремнію забезпечує виняткову теплопровідність і розподіл тепла, забезпечуючи надійну та постійну роботу навіть у найвимогливіших високотемпературних середовищах.

Наш міцний ствол із SiC-покриттям для LPE розроблений для досягнення найкращої ламінарної моделі потоку газу, забезпечуючи рівномірність теплового профілю. Це допомагає запобігти будь-якому забрудненню або дифузії домішок, забезпечуючи високоякісне епітаксійне зростання на чіпі пластини.

Зв’яжіться з нами сьогодні, щоб дізнатися більше про наш стійкий ствол із SiC-покриттям для LPE.

Параметри довговічного стовбура з SiC-покриттям для LPE

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC Î² фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	Î¼m	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 °)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості довговічного ствола з SiC-покриттям для LPE

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- Як графітова підкладка, так і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.