Кінцевий ефектор для обробки пластин

Кінцевий ефектор Semicorex для обробки пластин має точні розміри та термостабільність для обробки пластин. Протягом багатьох років ми є виробником і постачальником елементів покриття з карбіду кремнію. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють більшість європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Надіслати запит

Опис продукту

Кінцевий ефектор Semicorex для обробки пластин має точні розміри та термостабільність, водночас має гладку, стійку до стирання плівку CVD SiC для безпечного поводження з пластинами без пошкодження пристроїв або забруднення частинками, які можуть переміщувати напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин та носіях. точно та ефективно. Наш кінцевий ефектор із покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти для роботи з пластинами забезпечує чудову термостійкість, рівномірну теплову однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару, а також тривалу хімічну стійкість.

У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наш кінцевий ефектор для обробки пластин має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри кінцевого ефектора для обробки пластин

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300