Горизонтальна камерна піч SIC човни

Semicorex горизонтальна камерна піч SIC-це дуже інженерна частина, яка вміщує та переносить вафлі або субстрати, поки вони піддаються високотемпературній термічній обробці в горизонтальній камерній печі. Вафельний човен виготовлений з високої чистоти SIC карбід кремнію (sic), що забезпечує унікальну комбінацію сили, термічної стійкості та високої хімічної стійкості, які вимагаються в напівпровідникових, фотоелектричних та вдосконалених керамічних процесах. Власний човен також діє як жорстка структура для утримання вафель у положенні, розмірна стабільність та точність вафель не будуть втрачені шляхом розширеного впливу надзвичайних температур процесу.

Вищі властивості карбіду кремнію забезпечують горизонтальну камерну піч SIC -човни, що є чудовою перевагою продуктивності порівняно з типовими матеріалами для вафельних човнів, таких як кварц або глинозем. Вони можуть краще протистояти нечастому циклах нагрівання та охолодження за допомогою високої температури плавлення, стійкості до теплового удару та механічної міцності, незалежно від швидкості нагрівання та охолодження або крайнощів теплового циклу. Оскільки горизонтальна піч повністю покладається на узгодженість положень вафель та експозиції умов процесів, належне вирівнювання ваффів передбачає постійний вихід процесу та повторюваність. Низький коефіцієнт теплового розширення означає, що човен не спотворюється над своїм життям і забезпечить збережену форму та відстань вафель.

Тонкозерниста, щільна структура перекристалізованого SIC забезпечує неабияку стійкість до окислення, корозії та забруднення технологічними газами та побічними продуктами. Це робить човен особливо вигідним для процесів в агресивних атмосферах, таких як дифузія, окислення, LPCVD та відпал. Висока хімічна інертність SIC уникає реакцій з вафельними поверхнями, тим самим зберігаючи чистоту продукту та мінімізуючи генерацію частинок у печі. Човни SIC можуть допомогти виробникам, яким потрібно задовольнити суворі потреби в чистоті, забезпечуючи більш чисті середовища для переробки та вдосконалену якість вафель.

Ці човни можуть бути виготовлені з різними складними геометріями та частковими розмірами з точними методами обробки та формування. Конструкції, як правило, використовують кілька паралельних слотів/канавок, щоб надійно утримувати вафлі в горизонтальній орієнтації і рівномірно оголити всю поверхню вафель на теплові умови. Проміжки та кути від прорізів та кути також можуть бути оптимізовані для встановлення вафель інших діаметрів, таких як 150 мм, 200 мм або 300 мм, і прямий повітряний потік під час переробки, одночасно досягаючи рівномірності температури для обробки.

Не тільки горизонтальна камерна піч SIC може бути розроблена в стандартних від'їздах, але вони можуть бути розроблені для роботи з автоматизованими вафельними навантажувачами, що призведе до безперебійної інтеграції в сучасні виробничі лінії з високою пропускною здатністю. Міцна конструкція також зробить човни рідше чіпляти або зламати під час обробки та скоротити час простою та витрати на заміну.

Теплопровідністькарбід кремніюЯвляє собою ще одну ключову перевагу, яка полегшує ефективну передачу тепла між вафлями та середовищем печі. Перевага полягає в тому, що виробники здатні досягти більш рівномірних умов обробки та скоротити час циклу, що може підвищити ефективність виробництва. Човни SIC дають послідовні та повторювані результати, будь то для виготовлення напівпровідникових вафель, виготовлення сонячних батарей або інших вдосконалених обробки матеріалів при підвищеній температурі.

Підсумовуючи, горизонтальна камерна піч SIC-човни є ключовим компонентом для виробників, які прагнуть виробляти вафлі з високопродуктивними, довготривалими та стійкими до зараження, стійкими до пластину. Він має механічну міцність, теплову стабільність та хімічну інертність, яка не має значення в горизонтальних печах. Вибираючи катери карбіду кремнію, оператори можуть використовувати кращий контроль процесів, вищу врожайність та мінімізувати оперативні перебої внаслідок технічного обслуговування. В цілому він забезпечує більш ефективні, економічно вигідні виробництво.