Горизонтальні човни з карбіду кремнію

Напівкорекс горизонтальнийчовни з карбіду кремніюформуються за допомогою технології 3D-друку, а потім виготовляються за допомогою високотемпературного спікання. Ці компоненти, спеціально розроблені для різних розмірів високотемпературних горизонтальних печей, широко застосовуються для надійного утримання пластин у критичних високотемпературних процесах виробництва напівпровідників, включаючи дифузію, окислення та хімічне осадження з парової фази.

Фізико-хімічні властивості карбіду кремнію

Переваги горизонтального човна з карбіду кремнію Semicorexs

1. Стабільна підтримка та позиція

Незрівнянна міцність і твердість матеріалу надають горизонтальним човнам із карбіду кремнію Semicorex чудову опорну здатність, що дозволяє їм стабільно перевозити декілька пластин одночасно. Завдяки прецизійній обробці пазів горизонтальні човни з карбіду кремнію Semicorex можуть міцно фіксувати та надійно утримувати напівпровідникові пластини. Рівномірно розподілена структура щілин гарантує, що пластини зберігають фіксоване положення протягом усього циклу обробки, тим самим гарантуючи послідовність і точність процесів виробництва напівпровідників.

2.Сумісність із складними умовами експлуатації

Завдяки чудовій високотемпературній стійкості та стійкості до корозії горизонтальні човни з карбіду кремнію Semicorex здатні витримувати суворі робочі середовища, такі як високотемпературні атмосфери кисню, азоту або хлористого водню з низькою концентрацією. Ці виняткові властивості матеріалу можуть ефективно запобігати корозії та пошкодженням, спричиненим високотемпературними корозійними газами, що значно подовжує термін служби човнів.

3. Виняткова чистота

На відміну від звичайних графітових човнів із покриттям із карбіду кремнію, горизонтальні човни з карбіду кремнію Semicorex виготовлені з напівпровідника високої чистоти.карбід кремнію(99,999%) з наднизьким вмістом домішок. Цей вибір матеріалів преміум-класу усуває ризик виділення забруднень або відшарування покриття, навіть якщо воно піддається впливу високотемпературних і жорстких корозійних середовищ. Крім того, кожен із наших човнів з карбіду кремнію піддається суворій ультразвуковій обробці перед вакуумним пакуванням, що гарантує відповідність стандартам чистоти, які вимагаються передовими процесами виробництва напівпровідників.