Система Epi з індуктивним нагріванням стовбура

Якщо вам потрібен графітовий токоприймач із винятковою теплопровідністю та властивостями розподілу тепла, шукайте не далі, ніж систему Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System. Його високочисте покриття SiC забезпечує чудовий захист у високій температурі та корозійному середовищі, що робить його ідеальним вибором для використання у виробництві напівпровідників.

Надіслати запит

Опис продукту

Система Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System є ідеальним вибором для застосувань у виробництві напівпровідників, які вимагають виняткового розподілу тепла та теплопровідності. Його високочисте покриття SiC і чудова щільність забезпечують чудові властивості захисту та розподілу тепла, забезпечуючи надійну та постійну роботу навіть у найскладніших умовах.
У Semicorex ми зосереджені на забезпеченні високоякісних, економічно ефективних продуктів для наших клієнтів. Наша система Inductive Heated Barrel Epi System має цінову перевагу та експортується на багато європейських та американських ринків. Ми прагнемо бути вашим довгостроковим партнером, пропонуючи продукти незмінної якості та виняткове обслуговування клієнтів.

Параметри системи індуктивного нагріву Barrel Epi

Основні характеристики покриття CVD-SIC
Властивості SiC-CVD
Кристалічна структура	FCC β фаза
Щільність	г/см³	3.21
Твердість	Твердість за Віккерсом	2500
Розмір зерна	мкм	2~10
Хімічна чистота	%	99.99995
Теплоємність	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублімації	℃	2700
Згинальна сила	МПа (RT 4 точки)	415
Модуль Юнга	Gpa (вигин 4 точки, 1300 ℃)	430
Теплове розширення (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Теплопровідність	(Вт/мК)	300

Особливості системи Inductive Heated Barrel Epi System

- Графітова підкладка та шар карбіду кремнію мають хорошу щільність і можуть відігравати хорошу захисну роль у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.

- Сусцептор з покриттям з карбіду кремнію, який використовується для вирощування монокристалів, має дуже високу площинність поверхні.

- Зменшити різницю в коефіцієнті теплового розширення між графітовою підкладкою та шаром карбіду кремнію, ефективно підвищити міцність з’єднання, щоб запобігти розтріскуванням і відшаруванням.

- І графітова підкладка, і шар карбіду кремнію мають високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.

- Висока температура плавлення, стійкість до окислення при високій температурі, стійкість до корозії.